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洗浄機
作業の安全性、省スペース省ランニングコストを重視した装置設計
PWB－１(治具洗浄装置)
設備の治具類(石英・SIC)を薬液洗浄する専用ブースです。
洗浄作業を自動化することで作業者の安全を確保します。
薬液槽と水洗槽を1つにまとめることで省スペース化を実現しました。
薬液を回収し再利用することでランニングコストを低減します。
小物部品洗浄用の専用バスケットも制作します。
SPEC
装置サイズ
2100(W)×1000(D)×2250(H)mm
装置重量
850kg
使用薬液
49％ フッ酸
槽 容量
68ℓ
タンク収納数
3本(20ℓポリタンク)
コントローラー
シーケンサ
操作パネル
カラー液晶タッチパネル（7インチ）
電源
1φAC100V 2KVA
枚葉エッチング装置
チャンバー内でウェハーを枚葉エッチング処理する装置です。
2チャンバーを有し、ウェハーの並行処理が可能です。スループットの大幅短縮を実現します。
上位通信機能に対応可能。CIM機能や上流装置からの製品情報により生産管理を行いヒューマンエラーを低減し生産性を向上します。
SPEC
装置サイズ
1680(W)×1680(D)×2400(H)mm
適用ウェハー
5インチ / 6インチ兼用
使用薬液
混酸
処理チャンバー
2チャンバー、純水廃液分離方式
コントローラー
シーケンサ
オペレーション
ノートPC
付帯設備
給液ユニット
電源
3φAC200V 10KVA、1φAC100V 4KVA
製品紹介
PRODUCT
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